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晶圆检测仪多晶硅缺陷分析仪太阳能硅板检测仪太阳能光伏单晶硅片缺陷分析
一:蔡康晶圆检测仪多晶硅缺陷分析仪太阳能硅板检测仪DJM-200C概述和硅片缺陷检测方法和应用范围:
(一)光伏硅片质量检测中,有很多项目,比如:破片、缺角、孔洞和翘曲等等。为什么会有这些检测项目?有些项目很容易理解,比如:破片、缺角等不仅会影响卖相,还会造成后续电池片生产的问题,甚至影响转换效率。但孔洞,尤其是很小很小的孔洞,似乎没什么大不了。其实不然,最新的研究表明,小小的孔会造成大大的问题。就好像千里之堤,毁于蚁穴。
  1.孔洞:大量存在,3~10um,人眼不易发现。必须用背光源。
  孔洞的危害:经研究发现***,硅晶片上孔洞会造成加工成电池片的短路,降低电池片的转换效率;如果因为硅片上的孔洞形成的短路块刚好落在栅线上,就会造成大面积的短路,加大电池片的漏电流,影响转换效率。所以必须检测孔洞,一般人眼能分辨0.3mm以上的孔洞,0.003~0.01mm的孔洞只能借助与光学的检测手段来实现。检测时需采用高亮度的白色背光源,穿透力强的光经过孔洞后,部分频率的分量会使相机感光,形成蓝绿色的成像。相机的像素分辨率需要做得很高,比如一个像素等于0.005mm,这样有机会捕捉到3um~10um孔透过的光,并由软件识别。
  2.硅片翘曲或弯曲:不能忽视。硅片翘曲不仅使得做成电池片后尺寸不合乎要求,而且还会造成断栅。
  研究表明:因为硅片翘曲,做成电池片后,通过EL检测,发现里面有丝状裂纹或花斑,但做成模组后,花斑情况有改善。分析表明,因为电池片翘曲(根源上是硅片翘曲),在丝印时会造成印刷不均匀,形成断栅。
  硅片的翘曲需要采用3D的检测方法,具体表征硅片翘曲的指标有TTV、MTV等等。检测的方法可以采用将结构光(线激光)投射到硅片上,用相机进行拍照;通过软件分析光线成像的几何特征,可以计算出TTV、MTV等指标,跟标准值进行比对,可以得出硅片翘曲是否在可以接受的范围。
  以上两点,是最新的研究发现。如果检测不到位,“后果很严重”。电池片厂家在来料检测上,不可不注意。
  产品介绍:
  蔡康晶圆硅片缺陷观测仪(DJM-200C),于对硅片的缺陷进行观察,效果非常明显,包括肉眼无法观测的位错、层错、划痕、崩边等。
  实时对图像进行分析、测量和统计,提高传统光学仪器的使用内涵。配合投影仪和计算机等显示、存储设备,能更好的观测和保存研究结果;
  硅片缺陷观测仪-产品特点
  ■适用于对硅片的缺陷观察效果,非常明显,包括肉眼无法观测的位错、层错、划痕、崩边等;
  ■使硅片缺陷观察工作简单化,准确化,同时极大程度降低此项工作强度;
  ■实时对图像进行分析、测量和统计,提高传统光学仪器的使用内涵。配合投影仪和计算机等显示、存储设备,能更好的观测和保存研究结果;
  ■使用 数字CCD摄像机 感光芯片,具有体积小,技术先进,像素较高,成像清晰、线条细腻、色彩丰富;
  ■传输接口为 USB2.0高速接口,软件模块化设计;
  ■有效分辨率为 1000万像素;
  ■所配软件能兼容 windows 7和 windows XP 操作系统。
 
(三)蔡康太阳能光伏单晶硅片缺陷分析仪技术介绍和仪器组成

   一、大平台太阳能硅片缺陷分析金相显微镜仪器的主要用途和特点
       DJM-200C系列反射明暗场
大平台太阳能硅片缺陷分析金相显微镜可进行明视场、暗视场、简易偏光观察。是半导体检验、电路封状、电路基板、材料等行业理想仪器。 DMM-990大平台晶圆缺陷分析金相显微镜具有图像清晰、衬度好,造型美观,操作方便等特点,是材料学、金属学、矿物学、精密工程学、电子学等研究的理想仪器。适用于学校、科研、工厂等部门使用。 DMM-990高级正置金相显微镜,选用优质的光学元件,配有超大视场目镜、落射照明器、平场长工作距离明暗场物镜,是针对半导体晶圆检测、太阳能硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为高级工业金相显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、广泛用于工厂、研究机构、高等院校对太阳能电池硅片、半导体晶圆检测、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
性能特点
▲      配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片),视场大而清晰。
▲      粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值:0.8μm。
▲      配置大移动范围栽物台,移动范围:8英寸*8英寸(204mm*204mm)。
▲      三目镜筒,可自由切换正常观察与偏光观察,明视场/,可进行100%透光摄影。
▲      6V30W卤素灯,亮度可调。
   DMM-990C电脑型三目正置
大平台单晶硅缺陷分析仪金相显微镜是将精锐的光学显微镜技术、先进的光电转换技术、尖端的计算机成像技术完美地结合在一起而开发研制成功的一项高科技产品。既可人工观察金相图像,又可以在数码相机显示器上很方便地适时观察金相图像,并可随时捕捉记录金相图片,从而对金相图谱进行分析,评级等,还可以保存或打印出高像素金相照片。

太阳能光伏单晶硅片缺陷分析仪DJM-200C

(2)蔡康硅片缺陷分析仪DJM-200C性能特点和系统组成:

1. 蔡康单晶硅缺陷分析仪DJM-200C利用工业级彩色高速摄象器进行图像或者视频采集,高倍蔡康光学单晶硅片显微镜放大成像,图像快速显示于计算机,直接实时观察熔深焊接形貌,利用专用软件进行熔深测量处理,形态统计分析,并打印出熔深分析报告。

型号
技术参数
目镜
WF10X(Φ18mm)
物镜
长距平场消色差物镜(明视场)(无盖玻片)PL 5X/0.12                 WD:18.3mm
长距平场消色差物镜(明视场/暗视场)(无盖玻片)PL L10X/0.25               WD:8.9mm
长距平场消色差物镜(明视场/暗视场)(无盖玻片)PL L20X/0.40               WD:8.7mm
长距平场消色差物镜(明视场/暗视场)(无盖玻片)PL L40X/0.60                 WD:0.26mm
目镜筒
三目镜,倾斜30˚
落射照明系统
6V 30W卤素灯,亮度可调
落射照明器带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃
调焦机构
载物台升降,粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值:0.8μm
转换器
四孔(外向式滚珠内定位)
载物台
三层机械移动式(尺寸:280mmX270mm,移动范围:204mmX204mm)
 
1、硅片缺陷分析仪DJM-200
2、电脑适配镜
3、数字彩色摄像机
4、单晶硅片分析测量系统
5、计算机(选购)
主销产品:
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